質(zhì)量流量控制器即MassFlowController(縮寫為MFC),不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,更重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡單地說,其就是一個(gè)穩(wěn)流裝置,是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。
質(zhì)量流量控制器可以準(zhǔn)確地測量和控制系統(tǒng)中的流量。然而,在流量控制器的上下游,沒有絕對的信心來確定流量是準(zhǔn)確的。如果不采取任何對策,則不會(huì)將所需的確切流量傳遞給過程。隨著流量的最小化,系統(tǒng)組件(如管道、過濾器和閥門)的相對內(nèi)部體積似乎增加了。這會(huì)影響系統(tǒng)的動(dòng)態(tài),因?yàn)轫憫?yīng)時(shí)間會(huì)減慢,導(dǎo)致直接控制的損失。
在許多低流量流體控制系統(tǒng)中,為了控制低流量,最薄弱的環(huán)節(jié)通常不是質(zhì)量流量傳感器。而是流體被氣體壓制,當(dāng)氣體夾在液體流中時(shí),它可能以溶解氣體或氣泡的形式出現(xiàn)。在這兩種情況下,它對平均質(zhì)量流量沒有顯著影響。然而,氣泡傾向于破壞流動(dòng)的穩(wěn)定性。通過快速準(zhǔn)確的流量計(jì)可以監(jiān)測效果。這種物理效應(yīng)發(fā)生在任何具有溶解氣體和下游壓降的低液體流量系統(tǒng)中,與測量原理或控制閥類型無關(guān)。
以下是關(guān)于質(zhì)量流量控制器準(zhǔn)確測量和控制系統(tǒng)中流量的一些重要特點(diǎn):
1、質(zhì)量測量:通過測量氣體通過設(shè)備時(shí)的質(zhì)量來確定流量。它采用質(zhì)量傳感器來監(jiān)測氣體質(zhì)量的變化,并將其轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的流量值。
2、高精度:通常具有較高的精度,能夠提供穩(wěn)定和準(zhǔn)確的流量控制。它可以在寬范圍內(nèi)測量和調(diào)節(jié)氣體流量,具備微小流量變化的靈敏度,能夠滿足對于精密控制要求較高的應(yīng)用。
3、可調(diào)節(jié)性:可通過控制閥門的開度來調(diào)節(jié)氣體流量。它通常配備了精確的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),可以實(shí)現(xiàn)廣泛的流量范圍調(diào)節(jié),并具備快速響應(yīng)和穩(wěn)定性能。用戶可以根據(jù)具體需求,在所需的流量范圍內(nèi)進(jìn)行靈活調(diào)整。
4、數(shù)字控制與通信接口:通常具有數(shù)字化控制功能和通信接口,例如RS-232、RS-485、Modbus等,可以通過計(jì)算機(jī)或其他外部設(shè)備進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)測和控制,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作和數(shù)據(jù)采集。
5、溫度和壓力補(bǔ)償:通常內(nèi)置溫度和壓力傳感器,用于對流量值進(jìn)行溫度和壓力補(bǔ)償。這種補(bǔ)償功能可以消除環(huán)境條件的影響,提供更準(zhǔn)確的流量測量結(jié)果。
6、可靠性和穩(wěn)定性:通常具備良好的可靠性和穩(wěn)定性,適用于長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行和重復(fù)使用。它可以在不同的工作條件下保持精確的流量控制,具備較長的使用壽命和較低的維護(hù)要求。